薄膜吸氣劑

	特征和用途
	本品是組織結(jié)構(gòu)優(yōu)化的鈦或鋯合金的薄膜，可在較寬的溫度范圍內(nèi)激活。激活后，可在真空環(huán)境中吸收除惰性氣體之外的氫氣、水汽、一氧化碳、二氧化碳等雜質(zhì)氣體，提高和維持器件內(nèi)部的真空。具有吸氣量大、無顆粒、激活溫度低等特點。可廣泛的應(yīng)用于非制冷紅外傳感器、微陀螺儀等各種MEMS器件。針對不同的封裝工藝，有不同的吸氣合金可供選擇。
	基本特征和數(shù)據(jù)
	●結(jié)構(gòu) 產(chǎn)品的典型結(jié)構(gòu)是以厚度50微米的不銹鋼為載體，在其表面雙面鍍膜，膜厚約1.5微米。尺寸形狀可以根據(jù)用戶需要定制。也可以薄膜形式沉積在晶圓表面或各種金屬蓋板、陶瓷外殼表面。 ●吸氣能力 產(chǎn)品在小于1E-3Pa的動態(tài)高真空中激活后，即可具有吸氣能力，冷卻到室溫后，仍然具有吸附各種活性氣體的能力。隨著激活溫度的升高，吸氣能力逐漸加強(qiáng)。產(chǎn)品經(jīng)最佳激活溫度加熱30min，冷卻后對CO的吸附能力大于0.06Pa·L/cm2。激活溫度超過最佳激活溫度后，會使冷卻后的單次吸氣性能衰減。 產(chǎn)品在低真空中加熱激活時，在加熱過程中即開始吸收環(huán)境中的活性氣體。對于不同的氣體，其吸收速度和容量都不一樣。在某一溫度下和總吸收容量范圍內(nèi)，起始的吸收速度較快，然后會越來越慢；當(dāng)再次提高溫度時，會再次提高吸收速度，然后再次衰減。冷卻后，產(chǎn)品是否具有殘留的吸氣能力，取決于其吸收的活性氣體種類和吸氣量。
	推薦激活條件
	為獲得最佳性能，推薦產(chǎn)品在小于1E-3Pa的動態(tài)高真空中激活，各膜材的推薦激活條件如下表： 膜材 ℃×min TP 450×30 TZC 300×30 TZCF 400×30
	注意事項
	產(chǎn)品技術(shù)規(guī)格書中提供的加熱電流-激活溫度曲線是產(chǎn)品懸掛在真空中測試的，產(chǎn)品焊接在器件內(nèi)部后，實際的激活電流與溫度的關(guān)系主要取決于熱損耗。由于焊接位置的熱傳導(dǎo)，焊接部分的溫度遠(yuǎn)低于產(chǎn)品中間部分的溫度。 吸氣劑在激活過程中，會釋放出內(nèi)部固溶的氫氣。環(huán)境中有水，則水中的氧會被吸氣劑固定，氫則會被轉(zhuǎn)化成氫氣釋放。在密閉空間中，冷卻后，這部分氫氣能否完全被吸氣劑吸收取決于激活過程中其吸收的氣體種類和數(shù)量。